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本发明涉及电子特气制造技术领域，公开的一种制备烷基硅烷及三氯化硼回收溶剂联产氯化锂方法，采用的制备系统，包括:烷基硅烷合成系统、溶剂回收及氯化锂制备系统、三甲基硅烷和氯化硼制备系统、二甲基硅烷制备系统、甲基硅烷制备系统，烷基硅烷合成系统第一出口端通过管道与溶剂回收及氯化锂制备系统联通，烷基硅烷合成系统第二出口端通过管道与三甲基硅烷及氯化硼制备系统联通，三甲基硅烷及氯化硼制备系统冷凝出口端通过管道与二甲基硅烷制备系统联通，二甲基硅烷制备系统冷凝出口端通过管道与甲基硅烷制备系统联通。本发明能够使各种
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN115304634A
(43)申请公布日2022.11.08
(21)申请号202210978010.7
(22)申请日2022.08.15
(71)申请人河南海川工程设计院有限公司
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