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液态金属离子源.pdfVIP

液态金属离子源.pdf

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    离子源配置成形成离子束并且具有电弧室，电弧室围封电弧室环境。储集器装置可以配置为推斥极并且向电弧室环境提供液态金属。偏置电源相对于电弧室对储集器装置进行电偏置，以使液态金属在电弧室环境中蒸发形成等离子体。储集器装置具有杯体和封盖，杯体和封盖限定用于液态金属的储集器环境，储集器环境通过封盖中的孔与电弧室环境流体联接。部件从杯体延伸到储集器中并接触液态金属，以通过毛细作用将液态金属朝向电弧室环境馈送。结构、表面积、粗糙度和材料改变毛细作用。该部件可以是延伸到液态金属中的环形圈、杆或管。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN113632197A

    (43)申请公布日2021.11.09

    (21)申请号202080021940.2(74)专利代理机构北京中原华和知识产权代理

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