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本发明涉及半导体技术领域,公开了一种谐振器封装系统。该谐振器封装系统包括谐振器和所述谐振器的封装结构;所述谐振器包括:衬底和多层结构,所述多层结构由下至上依次包括下电极层、压电层和上电极层;所述封装结构包括:第一衬底、第二衬底、支撑壁、连接柱和包封结构;所述第一衬底与所述谐振器之间设有空腔;所述支撑壁和连接柱设置在第一衬底与第二衬底之间,为所述第一衬底及所述第二衬底上的触点提供电接触;所述包封结构设置在所述第一衬底下方并包围所述支撑壁外侧面延伸至第二衬底下表面。本发明提供一种新型的谐振器封装系统
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN110868178A
(43)申请公布日
2020.03.06
(21)申请号20191
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