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本发明公开了一种用于单晶硅拉制过程中参数偏离的自动提示方法及系统，包括以下步骤：使用数据采集设备实时采集单晶硅拉制过程中的工艺参数，并将实时采集的工艺参数进行预处理，得到预处理后的工艺参数；基于预处理后的工艺参数，使用逻辑算法和规则引擎以检测任何偏离预期的情况；根据数据分析的结果得到潜在的参数偏离情况，并根据潜在的参数偏离情况，生成相应的错误信息；将错误信息以预设的形式提示操作人员；其中，数据采集设备包括多个温度传感器、多个压力传感器，工艺参数包括拉制温度、拉制压力以及硅液重量。本发明用于解决现
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117888181A
(43)申请公布日2024.04.16
(21)申请号202311760263.8G06F18/10(2023.01)
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