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本实施例提供一种气体质量流量控制器及故障自检方法，该气体质量流量控制器包括电磁阀、用于调节电磁阀的开度的电磁阀控制模块、用于向电磁阀控制模块提供驱动电能的电磁阀驱动电路、故障自检模块和控制模块，控制模块用于根据预设的流量设定值，控制电磁阀控制模块将电磁阀的开度调节至与流量设定值对应的开度值，且接收由电磁阀控制模块反馈的与该开度值对应的电磁阀的当前驱动参数值，并发送至故障自检模块；故障自检模块用于基于当前驱动参数值和与开度值对应的预设的标准驱动参数值，计算获得气体质量流量控制器的故障发生率。本实施
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN112000139A
(43)申请公布日2020.11.27
(21)申请号202010939170.1
(22)申请日2020.09.09
(71)申请人北京七星华创流量计有限公司
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