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本发明的蒸发率测定装置被用于使蒸镀材料从多个蒸发源蒸发并蒸镀到基板的成膜面上的成膜装置，其特征在于，包括：多个蒸发率传感器，所述多个蒸发率传感器分别对应于所述多个蒸发源地设置，分别包含用于监控从对应的所述蒸发源蒸发的所述蒸镀材料的蒸发率的多个晶体振子；蒸发率算出部，所述蒸发率算出部对应于各所述蒸发率传感器地设置，基于各所述蒸发率传感器的所述监控结果而算出来自各所述蒸发源的蒸镀材料的蒸发率；及控制部，所述控制部控制各所述蒸发率传感器中的所述多个晶体振子的切换时机，对于所述多个蒸发率传感器，所述控制
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN110777350A
(43)申请公布日
2020.02.11
(21)申请号20191
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