真空泵、用于真空泵的转接装置以及真空泵设备.pdfVIP

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2024-04-17 发布于四川
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本发明提供一种真空泵、用于真空泵的转接装置以及真空泵设备。依照本发明的真空泵，包括泵入口、泵出口和泵主外壳，泵主外壳形成工作腔室，真空泵叶片容纳于工作腔室中，在泵主外壳上靠近泵入口的位置，设置一个或多个吹扫装置接口和一个或多个吹扫气孔，所述吹扫装置接口用于与外部气体提供装置连接，所述吹扫装置接口和所述吹扫气孔连通，所述真空泵包括工作状态和吹扫状态，在工作状态，所述吹扫装置接口关闭，在吹扫状态，所述吹扫装置接口打开，压力气体通过吹扫气孔进入泵主外壳中并对泵主外壳中叶片及其工作腔室进行吹扫，随后气体

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117889089A

(43)申请公布日2024.04.16

(21)申请号202410207523.7

(22)申请日2024.02.26

(71)申请人苏州麦克斯韦真空

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