（高清版）T 43682-2024 纳米技术 亚纳米厚度石墨烯薄膜载流子迁移率及方块电阻测量方法.pdfVIP

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CCSA42

中华人民共和国国家标准

GB/T43682—2024

纳米技术亚纳米厚度石墨烯薄膜载流子

迁移率及方块电阻测量方法

Nanotechnology—Measurementmethodsforcarriermobilityandsheet

resistanceofgraphenefilmsofsub-nanometerthickness

2024-03-15发布2024-07-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

GB/T43682—2024

目次

前言Ⅲ

引言IV

1范围1

2规范性引用文件1

3术语和定义1

4原理2

5设备3

6器件制备及测量过程4

7计算方法7

8不确定度的分析与计算9

9测量报告10

附录A(资料性)化学气相沉积(CVD)法生长的石墨烯样品#1的方块电阻及载流子迁移率11

参考文献12

I

GB/T43682—2024

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定

起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由中国科学院提出。

本文件由全国纳米技术标准化技术委员会(SAC/TC279)归口。

本文件起草单位：泰州巨纳新能源有限公司、中国科学院上海微系统与信息技术研究所、上海巨纳

科技有限公司、烯旺新材料科技股份有限公司、厦门凯纳石墨烯技术股份有限公司、泰州飞荣达新材料

科技有限公司、泰州石墨烯研究检测平台有限公司、东南大学、南京大学、电子科技大学(深圳)高等研究

院、清华大学、江南大学、贵州金特磨削科技开发有限公司、福建翔丰华新能源材料有限公司、北京石墨

烯研究院有限公司、北京孵烯检测认证有限公司、欣旺达电子股份有限公司。

本文件主要起草人：王浩敏、丁荣、吕俊鹏、谢晓明、王慧山、孔自强、陈晨、陈谷一、袁文军、王兰兰、

方崇卿、邵悦、倪振华、王欣然、李雪松、王琛、肖少庆、张豪、宋宏芳、许莉、干静、洪江彬、陈敏、严春伟。

Ⅲ

GB/T43682—2024

引言

石墨烯薄膜广泛应用于电子器件领域，如显示、通信和可穿戴设备。不同的应用对石墨烯薄膜的载

流子迁移率和方块电阻有不同的要求，而载流子迁移率和方块电阻决定了石墨烯薄膜的性能。载流子

迁移率和方块电阻是石墨烯薄膜