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本发明关于抑制接合多片基板而制造的层叠基板的破裂和缺损的基板处理方法和基板处理装置，特别是关于将填充剂涂布于形成于构成层叠基板的多片基板的边缘部间的间隙的技术。本方法中，在第一基板(W1)的边缘部(E1)与第二基板(W2)的边缘部(E2)的间隙涂布填充剂(F)，使涂布的填充剂(F)固化，通过红外线拍摄装置(5)生成涂布了填充剂(F)的层叠基板(Ws)的边缘部图像，基于图像来决定在第一基板(W1)的边缘部(E1)与第二基板(W2)的边缘部(E2)的间隙涂布后的填充剂(F)的填充状态。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117897234A
(43)申请公布日2024.04.16
(21)申请号202280057799.0(74)专利代理机构上海华诚知识产权代理有限
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