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本实用新型公开了一种用于干式真空泵的真空过滤器,包括滤芯、外壳和盖板;外壳与盖板之间设有凹凸配合机构和搭扣式锁紧装置;滤芯中心设有轴向通孔,盖板上设有上限位凸块,外壳底部设有下限位凸块;外壳的侧面设有进气接口,底部设有出气接口;上限位凸块还用于将轴向通孔的顶端封闭,下限位凸块上设有轴向贯穿孔;轴向贯穿孔的上下两端分别与轴向通孔和出气接口连通。本申请提供的真空过滤器,可有效延长真空泵使用寿命,降低真空泵故障率,进而提升抛光机产能及提高产品质量,具有较好的实用价值和推广应用意义。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220779469U
(45)授权公告日2024.04.16
(21)申请号202322439611.3
(22)申请日2023.09.08
(73)专利权人郑州合晶硅材料有限公司
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