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加热器材料层在衬底之上。在将衬底和加热器材料层放置在工艺腔中的同时执行反应性溅射反应性溅射工艺。经溅射的多个铝原子和多个反应性含氮分子在工艺腔内部发生反应，以在加热器材料层上形成连续的非均质的铝氮化物层。形成连续的非均质的铝氮化物层，使得铝氮化物层的顶表面部分比铝氮化物层的与加热器线的顶表面接触的底表面部分具有较高的氮原子浓度。连续的非均质的铝氮化物层和加热器材料层被图案化为非均质的铝氮化物层和加热线。在铝氮化物层上形成相变材料线以提供射频开关。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117915759A
(43)申请公布日2024.04.19
(21)申请号202311763391.8H10N70/20(2023.01)
(22)申请日2023.12.
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