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本发明公开了一种快速高低温冷热冲击的制冷装置，解决现有半导体高低温冷热冲击试验设备存在降温时间长，无法快速调温的问题，装置包括进气单元、多级制冷单元和温度补偿调节单元，多级制冷单元包括循环相连的压缩冷凝组件和多级换热器，进气单元依次通过换热器后连接至温度补偿调节单元，温度补偿调节单元连接至待测设备；本发明通过多级换热器换热，气体温度转换速率快，温度控制精度高。实现三种或三种以上制冷工质混合制冷，多种混合制冷工质自动分凝，实现高低温冷热冲击的低温气体。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117906306A
(43)申请公布日2024.04.19
(21)申请号202311760703.XF25B49/02(2006.01)
(22)申请日2023.12.
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