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本发明公开了一种新型电容式六维力传感器，其包括变形层、测量层、PCB板、过载保护部分。测量层固定于变形层内圈上，PCB板固定于变形层外圈。测量层上的动电极部分与PCB板上的静电极部分组成8个电容器，其中4个为具有边缘效应的垂直型电容器，4个为平行板电容器。变形层内圈受空间力使变形层的蛇形梁发生变形，从而电容器两极板极距发生改变，对应的电容量也发生改变，通过检测电路采集电容量的改变值，进行解耦计算，求出对应力的六维数值。本发明采用测量层与变形层分层的设计方法降低制作难度，同时采用蛇形梁使传感器满量
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN109855772A
(43)申请公布日
2019.06.07
(21)申请号20191
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