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本发明公开了一种外延炉的温度控制方法,包括降温阶段和升温阶段,降温阶段完成后进行维护保养作业,维护保养作业完成后进行升温阶段;降温阶段先后关闭冷却风机和冷却水路,关闭氢气吹扫并进行氮气吹扫,升温阶段逐步气动冷却风机和冷却水路,逐渐提高加热模块的功率,本发明通过控制降温和升温过程,通过严格控制气体种类和流量、冷却风机与冷却水路的开关顺序、加热模块的功率和各阶段的时间,使得反应腔室中的部件在升降温之前有良好的外界环境,避免部件因为温度骤降骤升导致热胀冷缩从而产生破裂。增加了内部部件的使用寿命,提高了
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117904708A
(43)申请公布日2024.04.19
(21)申请号202311724609.9
(22)申请日2023.12.15
(71)申请人戈芯半导体(苏州)有限公司
地址
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