基于PEDOT:PSS界面的柔性透明神经电极及其制备方法.pdfVIP

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  • 2024-04-20 发布于四川
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基于PEDOT:PSS界面的柔性透明神经电极及其制备方法.pdf

本发明提供一种基于PEDOT:PSS界面的柔性透明神经电极及其制备方法,可以应用于神经科学领域。其特征在于以PEDOT:PSS(聚(3,4‑乙烯二氧噻吩):聚苯乙烯磺酸)作为记录和传输神经电信号的功能材料,使用薄层绝缘聚合物作为PEDOT:PSS干法刻蚀的掩膜层,实现大面积PEDOT:PSS的图形化,使用面向硅片的反向工艺,实现无损化PEDOT:PSS柔性透明神经电极的大批量制备。本发明提供的制备方法具有工艺简单、易操作、可大批量实现等优点。同时,该基于PEDOT:PSS界面的柔性透明神经电极分

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117902550A

(43)申请公布日2024.04.19

(21)申请号202410075350.8

(22)申请日2024.01.18

(71)申请人中国科学院半导体研究所

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