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本公开涉及一种晶圆应力检测保持装置及晶圆应力检测设备，其包括周缘保持机构，其构造成在第一状态和第二状态之间切换，在第一状态中，周缘保持机构与晶圆的周缘接触以保持晶圆，在第二状态中，周缘保持机构远离周缘以不影响周缘的检测；以及中心保持机构，其构造成在第一模式和第二模式之间切换，在第一模式中，中心保持机构与晶圆的中心接触以保持晶圆，在第二模式中，中心保持机构远离中心以不影响中心的检测，其中，当周缘接受检测时，周缘保持机构处于第二状态并且中心保持机构处于第一模式，当中心接受检测时，周缘保持机构处于第一
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117913022A
(43)申请公布日2024.04.19
(21)申请号202311767781.2
(22)申请日2023.12.20
(71)申请人西安奕斯伟材料科技股份有限公司
地
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