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2024-04-20 发布于四川
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一种单片式外延设备及方法.pdf

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本发明涉及外延炉的技术领域，且公开了一种单片式外延设备及方法，包括炉体，炉体上方设置有顶盖，炉体上设置有连接台，炉体上固定安装有支撑板，顶盖设置在支撑板上，连接台上设置有托板，托板上侧开设有若干个凹槽，每个凹槽内均活动连接有基座，每个基座外侧壁均开设有环形壁槽，通过若干个基座可以同时加工若干个外延硅片，向下旋转移动固定柱，当固定柱与连接管分离后，就可以向上移动固定板，从而就可以将若干个基座逐一取出，逐一就可以方便用户更换，同时可以方便用户逐一清洗每个基座，从而避免其中一个基座损坏导致需要更换整个

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117904712A

(43)申请公布日2024.04.19

(21)申请号202311684807.7H01L21/67(2006.01)

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