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本发明公开了一种目标表面的位移测量方法及系统,涉及位移测量技术领域,令不同光频率的第一激光信号和第二激光信号经过目标表面后得到第一干涉信号和第二干涉信号;以第一激光信号和第二激光信号作为本振信号,分别对第一干涉信号和第二干涉信号进行滤波和解调处理后得到第一相位差和第二相位差;将第一相位差和第二相位差输入位移等效模型计算得到目标表面的位移;分别接收经过目标表面的不同频率光,配合以第一激光信号和第二激光信号作为本振信号,构成第一干涉信号和第二干涉信号的外差干涉信号,通过综合两组信号进行位移解调,可以
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117906500A
(43)申请公布日2024.04.19
(21)申请号202311770589.9
(22)申请日2023.12.21
(71)申请人中国工程物理研究院流体物理研究
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