辅助栅极横向绝缘栅双极型晶体管及其制造方法.pdfVIP

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2024-04-20 发布于四川
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辅助栅极横向绝缘栅双极型晶体管及其制造方法.pdf

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本发明涉及一种辅助栅极横向绝缘栅双极型晶体管及其制造方法，所述晶体管包括：漂移区；集电区，位于漂移区中；第二导电类型掺杂区，设于漂移区中；绝缘介质层，位于沟槽的内表面，沟槽位于集电区和第二导电类型掺杂区之间；辅助栅极，位于沟槽中，且被绝缘介质层包围；阳极区，与漂移区直接接触；第一电极，将阳极区与第二导电类型掺杂区短路连接；主栅结构。本发明在LIGBT导通时，辅助栅极关断，消除了单极模式，仅从双极模式开始导通，无电压折回的风险；在LIGBT关断时，由辅助栅极开启导电沟道，为漂移区的非平衡载流子提供

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117913130A

(43)申请公布日2024.04.19

(21)申请号202211232262.1

(22)申请日2022.10.10

(71)申请人无锡华润上华科技有限公司

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