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导光装置及光刻镜头装置.pdfVIP

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  • 2024-04-21 发布于四川
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导光装置及光刻镜头装置.pdf

    本申请涉及光刻镜头技术领域，尤其涉及一种导光装置及光刻镜头装置，导光装置包括壳体、反射组件。壳体设置有入光口和出光口。反射组件的数量为至少一个，反射组件安装于壳体。其中，反射组件将光束反射，以使光束的传播路径呈折线形，并从出光口射出。在光束的传播过程中，光束从入光口进入壳体，再经反射组件反射，使光束的路径呈折线形，从而在不减小光束的传播距离的情况下减小设备尺寸长度。由于光束的传播距离未减小，因此光束有足够的传播距离，以使从光刻镜头装置的照射区域的面积扩大至预期范围。如此，在不影响光刻镜头装置的照

    (19)国家知识产权局

    (12)实用新型专利

    (10)授权公告号CN220820282U

    (45)授权公告日2024.04.19

    (21)申请号202322246918.1

    (22)申请日2023.08.21

    (73)专利权人东莞锐视光电科技有限公司

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