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2024-04-21 发布于四川
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本实用新型属于半导体设备技术领域，公开了一种开盖装置及刻蚀机。该开盖装置包括固定架、驱动组件、夹臂组件和导向架，固定架安装于片盒腔体上；驱动组件包括传动连接的驱动件和拉杆，驱动件安装于固定架上，拉杆的第一端与驱动件的输出端连接，拉杆的第二端滑动穿设于片盒腔体的顶壁；夹臂组件包括连接杆和夹爪，连接杆的一端与拉杆的第二端转动连接，连接杆的另一端与夹爪转动连接；导向架上设有导向通道，夹爪与导向通道滑动连接，驱动件驱动拉杆沿顶壁滑动时，使两个夹爪沿导向通道相互靠近或相互远离。本实用新型提供的刻蚀机包括上

(19)国家知识产权局

(12)实用新型专利

(10)授权公告号CN220821510U

(45)授权公告日2024.04.19

(21)申请号202322480368.X

(22)申请日2023.09.13

(73)专利权人广东中图半导体科技股份有限公

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