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测试装置.pdfVIP

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  • 2024-04-21 发布于四川
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测试装置.pdf

    本实用新型公开了一种测试装置。测试装置包括承载平台、测试组件和第一驱动组件，承载平台设置有承载面和通孔，承载面用于承载被测单元，通孔连通承载面以漏出被测单元。测试组件包括检测件和加热件，检测件和加热件分别位于承载面相对的两侧，检测件和加热件在垂直于承载面的方向上相对设置。第一驱动组件与测试组件连接，第一驱动组件能够驱使检测件和加热件相对靠近，使得加热件抵持于被测单元的一侧进行区域加热，使得检测件抵持于被测单元的另一侧进行检测，实现对被测单元的区域加热以及对应区域的测试，减少升温和降温时间，提高测

    (19)国家知识产权局

    (12)实用新型专利

    (10)授权公告号CN220820159U

    (45)授权公告日2024.04.19

    (21)申请号202322245933.4

    (22)申请日2023.08.17

    (73)专利权人矽电半导体设备（深圳）股份有限

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