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本实用公开了一种三级真空系统，包括分子泵、扩散泵和机械泵，所述分子泵、扩散泵和机械泵依次串联在真空室的后端，所述分子泵与真空室之间的管路上安装有真空计一，所述扩散泵与分子泵之间的管路上安装有真空计二，所述机械泵与扩散泵之间的管路上安装有真空计三，其中真空计一、真空计二和真空计三的测量精度可依次降低设置；本实用新型设计的三级真空系统与传统二级真空系统相比，不但提高了抽速和极限真空度，同时还不容易返油。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220815926U
(45)授权公告日2024.04.19
(21)申请号202322156244.6
(22)申请日2023.08.11
(73)专利权人江西景光电子有限公司
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