SJ 21166-2016 MEMS惯性器件划片工艺技术要求.pdf

中华人民共和国电子行业标准

FL6117SJ21166-2016

MEMS惯性器件划片工艺技术要求

TechnicalrequirementsforMEMSinertialdevicedicingprocess

SJ21166-2016

目lj~

本标准由中国电子科技集团公司提出。

本标准由工业和信息化部电子第四研究院归口。

本标准起草单位：中国电子科技集团公司第十三研究所。

本标准主要起草人：任霄峰、罗蓉、杨拥军、李倩、张旭辉、王玉奎、张月波、赵彦停。

SJ21166-2016

MEMS惯性器件划片工艺技术要求

1范围

本标准规定了h在EMS惯性器件制造过程中划片的工艺流程、工艺要求和检验要求。

本标准适用于圆片的砂轮划片工艺。

2规范性引用文件

、I＇＂＂＇＂吐日期的引用文件，其随后所有的

木标准达成协议的各方研究

于本标准。

GB

3.1

3.2

4一般要求

4.1人员要求

4.1.1

SJ21166-2016

4.2.2温度

工作间的环境温度应控制在18℃～28℃。

4.2.3相对湿度

工作间的相对湿度应控制在30%～70%。

4.2.4工作场所

本工艺应在洁净厂房内进行，洁净厂房应符合GB50073-2013规定。

工作场所应整洁有序，有良好的照明条件，工作区的光照度应不低于750Ix，检验工作区的光照度

应不低于lOOOlx。

4.3安全要求

4.3.1工艺间人员应穿防静电净化服、防静电工作鞋，佩戴一次性口罩和手套。

4.3.2检查由水、电引起的安全隐患。

4.3.3设备必须接地可靠、安全。

4.3.4按设备操作规程进行操作，防止事故的发生。

4.3.5高压端操作时，必须两人在场，进行相关操作。

4.3.6必须在排风正常的情况下工作，若排风停止，需终止工作，并采取相应的应急处理措施。

4.3.7工艺过程中产生的尾气由废气管道接入厂房尾气排风口，禁止随意排放。

4.4材料要求

本工艺所需主要材料见表1，所用材料应严格按照相关存储条件存放，在有效期内使用。

表1主要材料

名称技术要求

用途

金刚石划片刀

刀刃露出量700µm～1050µm

划片工艺

蓝膜厚度70µm～80µm贴膜

UV膜

厚度85µm～120阳l贴膜

二氧化碳气体99.99%清洗

纯度

氨气纯度99.999%