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IC样品处理;目录;01;;样品处理的意义;样品处理的步骤;用于制作微米级别的电路元器件;;总结;02;样品采集;样品处理前的准备工作;样品处理中的常见问题与解决方案;实验室安全与管理;;清洗和去除表面杂质;晶圆损伤的常见原因;;实验室安全规范与流程;03;;测试设备介绍;;数据采集与记录;适用于数据分析和统计;;报告内容与格式要求;;报告的审阅与修改流程;04;;光刻工艺概述;步骤与流程;常见问题与解决方法;;清洗工艺流程;清洗剂的选择与应用;清洗后的处理方法;;薄膜沉积的原理;常用的沉积方法;沉积膜质量的评估与控制;;离子注入的原理与应用;操作步骤与注意事项;注入参数对样品的影响;05;IC样品处理失败案例分析;;;避免类似问题的建议;;成功经验总结;成功案例背后的故事;提高切割精度;应用案例分析与展望;对未来样品处理技术的展望;问题与讨论环节;讨论与解答;06;课程总结;学习收获与体会;;样品处理技术的发展趋势;学习不同样品处理技术，掌握基础的实验操作技能;
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