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双片集成波长可调谐垂直腔面发射激光器的研制的中期报告

Abstract摘要：

Thisreportpresentstheprogressofourdevelopmentofadual-chipintegratedwavelength-tunablevertical-cavitysurface-emittinglaser(VCSEL)overthepastsixmonths.Thedesign,fabrication,andtestingofthedevicearedescribedandanalyzed.Theresultsdemonstratethesuccessfulgenerationoftunablelaseroutput,andhighlightthedevicespotentialapplicationsinopticalcommunications,sensing,andmedicalphotonics.

本报告介绍了我们在过去六个月里开发双片集成波长可调谐垂直膜面发射激光器的进展情况。报告描述和分析了该装置的设计、制造和测试。结果表明，成功产生了可调谐激光输出，并突出了该装置在光通信、传感和医学光子学等领域的潜在应用。

Introduction引言：

Vertical-cavitysurface-emittinglasers(VCSELs)havebeenwidelyusedinvariousapplicationsduetotheiruniqueadvantagessuchashighefficiency,lowthresholdcurrent,tunablewavelength,andeasyintegrationintwo-dimensionalarrays.InordertofurtherimprovetheperformanceandexpandtheapplicationsoftheVCSELs,variousapproacheshavebeenproposed,suchasusingdual-chipintegrationtoachievewavelengthtunability.Inthisreport,wedescribetheprogressofourdevelopmentofadual-chipintegratedVCSELwithwavelengthtunability.

垂直膜面发射激光器具有高效率、低阈值电流、可调波长和易于在二维阵列中集成等独特优势，因此在各种应用中得到了广泛应用。为了进一步提高VCSEL的性能并扩展其应用领域，已经提出了各种方法，例如使用双片集成实现波长可调性。在本报告中，我们描述了我们开发的具有波长可调性的双片集成VCSEL的进展情况。

Design设计：

Theproposeddual-chipintegratedVCSELconsistsoftwoVCSELchipsthatareelectricallyandopticallyconnectedbymicro-lensesandaspacerlayer.OneVCSELchipisdesignedasagainchip,whichprovidesthegainforlasing,whiletheotherVCSELchipisdesignedasatunablecavitychip,whichcontrolsthewavelengthofthelaseroutput.Themicro-lensesareusedtocouplethelightbetweenthetwochips,andthespacerlayerisusedtoprovidetheelectricalandthermalisolationbetweenthetwochips.

所提出的双片集成VCSEL由两个VCSEL芯片组成，通过微透镜和间隔层进行电学和光学连接。一个VCSEL芯片被设计为增益芯片，提供激光的增益，而另一个VCSEL芯片被设计为波长可调腔芯片，控制激光输出的波长。微透镜用于在两个芯片之间耦合光，而间隔层用于在两个芯片之间提供电学和热隔离。

Fabrication制造：

Thefabric