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光学薄膜技术标准发展综述

高鹏;阴晓俊;赵帅锋;王瑞生;殷波;费书国

【摘要】为了说明光学薄膜行业相关标准的发展概况,对光学薄膜技术领域相关国

家标准和行业标准进行了总结,主要归纳为5个主题方向:膜层功能、面形偏差、表

面疵病、环境适应性及产品应用等.介绍了各个主题方向包含的主要标准及发展历

程,重点介绍了膜层功能主题方向的标准从1977年以来的4个阶段性发展历程.针

对各个主题方向,分析了各个主题方向的国家标准及行业标准的适用性,并提出了光

学薄膜领域国家标准及行业标准发展的5项建议:更新相关标准,系列化归纳标准,统

一规范标准引用,对复杂标准增加解释说明,根据产业发展需求制定相关新标准.

【期刊名称】《光学仪器》

【年(卷),期】2014(036)005

【总页数】6页(P465-470)

【关键词】光学薄膜;标准化水平;国家标准;行业标准

【作者】高鹏;阴晓俊;赵帅锋;王瑞生;殷波;费书国

【作者单位】沈阳仪表科学研究院有限公司,辽宁沈阳110043;沈阳仪表科学研究

院有限公司,辽宁沈阳110043;沈阳仪表科学研究院有限公司,辽宁沈阳110043;沈

阳仪表科学研究院有限公司,辽宁沈阳110043;沈阳仪表科学研究院有限公司,辽宁

沈阳110043;沈阳仪表科学研究院有限公司,辽宁沈阳110043

【正文语种】中文

【中图分类】F203

光学薄膜的应用始于20世纪30年代［1］，至今已形成一门独立的技术，广泛应

用在天文、军事、医学、科学检测、光显示和光通讯等行业中。光学薄膜能改善系

统性能（如：分束、滤光等），是满足设计目标的必要手段，对光学仪器的质量起

着重要或决定性的作用。

近三十年来，随着我国光学与光电子产业的迅猛发展，光学薄膜技术在镀制设备、

膜系设计、特性测试和应用开发等方面取得了广泛的成果，形成了相当的产业规模，

产品正在走向国际化。随着光学薄膜技术产业化的扩大，其生产的社会化程度逐渐

提高、技术要求日趋复杂，因此对标准化的要求也越来越高。

所谓标准化，是为了在一定范围内获得最佳秩序，对现实问题或潜在问题制定共同

使用和重复使用的条款的活动［2］。标准化活动最终会形成标准，其定义为：为

了在一定范围内获得最佳秩序，经协商一致制定并由公认机构批准，共同使用的和

重复使用的一种规范性文件［2］。完善的标准化体系对促进产品在技术上的相互

协调配合、优化产业结构、增强产品的市场竞争力等方面具有不可估量的作用，是

国民经济和社会发展的重要技术支撑。

我国的标准化工作开展于上世纪50年代，目前标准的范围已覆盖60多个行业，

且标准的数量每年呈稳定增长趋势［3］。本文立足于光学薄膜行业，分析行业相

关5个领域标准的发展情况，并结合光学薄膜技术标准的发展现状，对行业相关

标准的进一步发展提出了几点建议。

光学薄膜技术涉及多个技术领域，总结光学薄膜相关国家标准和行业标准时，主要

关注了以下5个主题方向。

（1）膜层功能。光学薄膜可实现诸如反射、增透、滤光、分束等不同功能，以满

足多样化的设计要求。不同膜层功能需要用不同的技术指标去描述和评判。

（2）面形偏差。实际光学表面与理想光学表面必然存在一定的偏差，这称为面形

偏差。在光学薄膜领域，面形偏差一方面由基片加工水平决定，另一方面也会受到

膜层应力的影响而降低或加剧。

（3）表面疵病。镀膜表面会存在一定的缺陷，如麻点、擦痕等，统称为表面疵病。

表面疵病程度会影响光学系统的性能，进而制约着光学薄膜的用途。

（4）环境适应性。光学薄膜必然工作于一定的环境条件（如：温度、湿度等），

而在该条件下薄膜能否长久稳定工作，体现了光学薄膜环境适应性的强弱。环境适

应性是评判光学薄膜的一项重要因素，需要用一定的环境试验来检验。

（5）产品应用。光学薄膜最终会形成产品（光学元件），安装在仪器中以满足一

定的使用要求。一种应用类型的光学薄膜产品中可能涉及多个功能的膜层。

上述光学薄膜技术相关领域，各有相关的标准对生产活动进行规范和指导。下文将

逐一论述相应标准的发展情况。

2.1膜层功能类标准的发展

膜层功能类标准的发展，大致可分为以下4个时间段。

（1）1