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光学面型检测标准

一、检测标准概述

光学面型检测是光学元件质量检测的重要环节，其目的是确保光学元

件的表面质量符合设计要求和实际应用需求。本标准主要规定了光学

面型的检测标准，包括表面粗糙度、表面平整度、表面缺陷和表面镀

膜等方面的检测要求和方法。

二、光学面型检测标准

1.光学面型应符合设计要求，表面光滑、平整，无划痕、裂纹、气

泡等缺陷。

2.光学面型的尺寸精度应符合相关标准，如《光学零件尺寸公差》

等。

3.光学面型的表面粗糙度应符合设计要求，一般要求在Ra0.05-0.2

之间。

4.光学面型的表面平整度应符合设计要求，一般要求在λ/4以内（λ

为测试波长）。

三、表面粗糙度检测标准

1.表面粗糙度应采用轮廓仪进行测量，测量范围应覆盖整个表面。

2.测量时应选用合适的测量参数，如采样长度、评定长度等，确保

测量结果的准确性。

3.表面粗糙度的合格标准应符合设计要求，一般要求在Ra0.05-0.2

之间。

四、表面平整度检测标准

1.表面平整度应采用干涉仪进行测量，测量时应避免外界干扰，如

振动、气流等。

2.测量时应根据不同的表面形状和材料选择合适的测试条件，如干

涉仪型号、光源波长等。

3.表面平整度的合格标准应符合设计要求，一般要求在λ/4以内（λ

为测试波长）。

五、表面缺陷检测标准

1.表面缺陷应采用显微镜或自动外观检测设备进行观察和检测。

2.检测时应根据不同的缺陷类型和大小选择合适的放大倍数和观察

角度。

3.表面缺陷的合格标准应符合设计要求和相关标准，如《光学零件

外观缺陷公差》等。

六、表面镀膜检测标准

1.表面镀膜应采用光谱仪、电子显微镜等设备进行检测，了解膜层

的厚度、硬度、反射率等性能指标。

2.检测时应选择合适的测试条件和测试点分布，确保测试结果的代

表性。

3.表面镀膜的合格标准应符合设计要求和相关标准，如《光学零件

表面镀膜技术条件》等。

七、光学面型检测方法

1.采用轮廓仪进行表面粗糙度测量时，应按照仪器使用说明书进行

操作，并选择合适的测量参数。

2.采用干涉仪进行表面平整度测量时，应根据不同的表面形状和材

料选择合适的测试条件，并严格按照仪器使用说明书进行操作。

3.采用显微镜或自动外观检测设备进行表面缺陷检测时，应调整好

观察角度和放大倍数，并按照设备使用说明书进行操作。

4.采用光谱仪、电子显微镜等设备进行表面镀膜检测时，应根据不

同的测试条件选择合适的测试点分布，并严格按照设备使用说明书进

行操作。