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2023年真空应用设备项目风险可行性方案.docx

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    真空应用设备项目风险可行性方案

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    真空应用设备项目风险可行性方案

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    TOC\h\z7124序言 3

    5893一、工艺方案的选择 3

    10064(一)、基本要求 3

    10119(二)、典型工艺技术介绍 4

    12176(三)、真空应用设备项目组成 6

    27037(四)、工艺技术方案的选择 7

    16492(五)、工艺技术方案的设计 9

    31433二、真空应用设备项目建设背景 10

    26184(一)、真空应用设备项目提出背景 10

    3899(二)、真空应用设备项目建设的必要性 11

    24702(三)、真空应用设备项

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