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电磁透镜聚焦原理示意图2c*玻璃凸透镜聚焦电磁透镜聚焦原理示意图3d* 与光学透镜相似，电磁透镜的物距、像距和焦距三者之间的关系式及放大倍数为： 1/f=1/L1+1/L2M=L2/L1M=f/(L1-f)f－焦距；L1－物距；L2－像距;M－放大倍数 *电磁透镜的焦距可由下式近似计算 f=K[Ur/（IN)2] K－常数； Ur－经相对论校正的电子的加速电压； （IN)－电磁透镜激磁安匝数(励磁强度，为电流强度I和线圈匝数N之积）。*无论激磁方向如何，激磁焦距总是正的。改变激磁电流，电磁透镜的焦距和放大倍数将发生相应改变。电磁透镜是一种变焦距或变倍率的会聚透镜，这是它有别于光学玻璃凸透镜的一个特点。*（2）电磁透镜的缺陷电子波波长很短，在100KV的加速电压下，电子波波长为0.037?，用这样短波长的电子波做显微镜的照明源，根据Δr0=1/2λ显微镜的最小分辨率可达0.02?左右。然而到目前为止，电镜的最佳分辨率仍停留在0.01nm的水平。Why？*像差分成两类，即几何像差和色差。几何像差是因为透镜磁场几何形状上的缺陷而造成的，几何像差主要指球差和像散色差是由于电子波的波长或能量发生一定幅度的改变而造成的。*原因：电磁透镜存在像差a、球差（球面像差）球差是由于电磁透镜中心区域和边缘区域磁场强度的差异，从而造成对电子会聚能力不同而造成的。远轴电子通过透镜时被折射得比近轴电子要厉害得多，因而由同一物点散射的电子经过透镜后不交在一点上，而是在透镜像平面上变成了一个漫射圆斑。最小散焦斑*b.像散像散是由于透镜的磁场轴向不对称所引起的一种像差。磁场不同方向对电子的折射能力不一样，电子经透镜后形成界面为椭圆状的光束，使圆形物点的像变成了一个漫射圆斑。*C、色差色差是由于成像电子的能量或波长不同而引起的一种像差。能量大的电子在距透镜中心比较远的地点聚焦，而能量较低的电子在距透镜中心比较近的地点聚焦。结果使得由同一物点散射的具有不同能量的电子经透镜后不再会聚于一点，而是在像面上形成一漫射圆斑。*由于上述像差的存在，虽然电子波长只有光波长的十万分之一左右，但尚不能使电磁透镜的分辨率提高十万倍。*(3)电磁透镜的景深和焦长a.景深透镜的景深是指在保持像清晰的前提下，试样在物平面上下沿镜轴可移动的距离（或者说试样超越物平面所允许的厚度）。 换言之，在景深范围内，样品位置的变化并不影响物像的清晰度。* 从原理上讲，当透镜的焦距一定时，物距和像距的值是确定的，这时只有一层样品平面与透镜的理想物平面相重合。 *为什么还存在景深？电子显微镜是以电子束为照明源，通过电子流对样品的透射或反射及电磁透镜的多级放大后在荧光屏上成像的大型仪器。 *第一章电子光学基础§1.1电子显微镜概述 电子显微镜由电子流代替可见光，由磁场代替透镜，让电子的运动代替光子。comparison 光学显微镜则是利用可见光照明，将微小物体形成放大影像的光学仪器。“数码显微镜”:光学显微镜**样品物镜光源可见光光镜聚光镜投影镜图像样品电磁聚光镜扫描线圈探测器扫描电镜电子束光学显微镜和扫描电镜的光路比较扫描电镜图像光学显微镜图像扫描电镜和光学显微镜的图像比较HistoryofMicroscope 大约在400年前（1590年），由荷兰科学家杨森和后来的博物学家列文虎克发明和完善的显微镜，向人们揭示了一个陌生的微观世界，他们是开辟人类显微分析的始祖。*列文虎克19世纪 现在，最好的光学显微镜可以达到2000倍的放大倍数。*现代的光学显微镜不管如何完善光学显微镜的透镜和结构，其放大倍数和分辨率总是被限定在2000多倍和几百纳米的水平，不可能再有新的突破。**1924 德布罗意波：电子的波粒二象性1926－1927电子波的波长随着加速电压的改变而改变；布施：具有轴对称的磁场对电子束起着汇聚的作用。1932第一台透射电子显微镜诞生：放大倍数12－17倍1934透射电子显微镜的分辨率提高到50nm§1.2电子显微镜的诞生与发展50年代英、法、荷、日、美、苏等国透射电子显微镜已批量生产；同时，晶体缺陷理论得到证实。60年代透射电子显微镜的分辨率提高到0.5nm；商品用扫描电子显微镜的分辨率25nm70-80年代电子显微学科诞生。1942剑桥大学马伦：第一台扫描电子显微镜诞生*德国ZEISS