《光栅线位移测量装置（系统）校准规范》编制说明.docxVIP

《光栅线位移测量装置（系统）校准规范》

CalibrationSpecificationofLinearDisplacementMeasurementDevice(Systems)basedonGratings

（征求意见稿）

编写说明

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一、背景

基于栅类传感器作为位移传感部件构成位移测量装置（系统）在工业及科研技术领域应用广泛，其中基于光栅传感的方式由于精度高、性价比高等技术特点而有较多应用，例如在高端数控机床、光刻机、高精度精密仪器等重要设备常使用光栅实现位移测量。光栅作为这些重要设备的关键核心部件是被发达国家卡脖子关键传感器件。和线纹尺一样，光栅线纹进行长度量值传递通过刻线位置。有所区别的是，为了弥补单一刻线线制造精度的不足，光栅线纹常按照多线平均方式使用。因光栅线纹刻线密度高、范围大，很难采用传统的线纹计量方法实现全线纹高精度计量，但获得光栅全线纹位置偏差是高精度光栅制造及应用的技术关键。

随着线纹尺制造以及单线纹探测及应用的需要，线纹尺的刻线间距越来越小，例如最小分度值为0.003mm，最大测量范围为500mm的线纹尺已经在国内实现制造并应用，光栅尺和线纹尺线纹在技术领域出现交叉融合发展趋势。

其它栅类传感器（例如磁栅、容栅等）除重复性栅几何物理结构的有区别，但往往都输出双路相位正交或四路相位正交的正余弦电信号。所输出的