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化学气相沉积设备项目安全评估报告
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化学气相沉积设备项目安全评估报告
目录
TOC\o1-9序言 4
一、危险、有害因素的辨识与分析 4
(一)、辨识与分析危险、有害因素的依据 4
(二)、主要危险、有害物质分析 5
(三)、生产过程中危险有害因素的辨识与分析 6
(四)、自然条件危险、有害因素辨识与分析 8
(五)、安全管理不当导致的危险、有害因素辨识与分析 10
(六)、重大危险源辨识结果 11
二、对策措施与建议 12
(一)、事故隐患的整改措施 12
(二)、建议的安全对策措施 13
三、评价化学气相沉积设备项目概述 14
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