光栅线位移测量装置（系统）校准规范.docxVIP

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光栅线位移测量装置（系统）校准规范

1范围

本规范适用于光栅线位移测量装置（系统）的校准。

2引用文件

本规范引用下列文件：

JB/T9341.1-2013计量光栅第1部分：术语

JB/T9341.2-2013计量光栅第2部分：数显表（卡）

JB/T10030-2012光栅线位移测量装置

GB/T17421.2—2016/ISO230-2:2006第2部分：数控轴线的机床检验通则定位精度和重复定位精度的确定

JJF1682-2017光栅式测微仪校准规范JB/T13688-2019光栅长度计

IEC/TS62622Nanotechnologies-Description,measurementanddimensionalqualityparametersofartificialgratings（纳米技术规范-刻制光栅几何质量参数及其测量的表述）

凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本规范；凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用本规范。

3术语和定义

3.1.栅线位置偏差

光栅栅线位置之间的实际值与设计值之间的差值。

3.2.信号周期偏差

光栅尺测量读数头输出的光栅周期信号的周期实际值