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1
线位移传感器动态参数校准规范
1范围
本校准规范规定了对线位移传感器的动态参数进行校准的计量特性、校准条件、校准项目、校准方法、校准结果的处理及复校时间间隔。
本校准规范适用于新制造(或购置)、使用中、修理后的线位移传感器动态参数校准。
2引用文件
本校准规范引用下列文件:
JJF1001-2011通用计量术语及定义
JJF1059.1-2012测量不确定度评定与表示JJF1094-2002测量仪器特性评定
GB/T7665-2005传感器通用术语
GB/T30111-2013位移传感器通用规范
GB/T18459-2001传感器主要静态性能指标的计算方法GJB8137-2013位移传感器标定与精度测试方法
JJF1305-2011线位移传感器校准规范
注:凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本规范;凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改版)适用于本规范。
3术语和计量单位
3.1术语
3.1.1线位移传感器lineardisplacementsensor
能够感受长度尺寸变化并转换为可用输出信号的器件。
3.1.2动态特性dynamiccharacteristic
与被测量随时间变化有关的传感器特性。
3.1.3动态示值误差dynamicerrorofindication线位移传感器示值与对应输入量的参考值之差。
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2
3.1.4动态重复性dynamicrepeatability
在相同测量条件下,对同一被测量进行连续多次测量所得结果之间的一致性。
3.1.5分辨力resolution
线位移传感器能够有效辨别的最小位移量。
3.1.6响应时间responsetime
由被测量的阶跃变化引起的传感器输出上升到其最终规定百分率时所需要的时间。
注:为注明这种百分率,可将其置于主词前面,例如:98%响应时间。
3.1.7频率响应frequencyresponse
在规定的被测量频率范围内,对加在传感器上的正弦变化的被测量来说,输出量与被测量振幅之比及输出量和被测量之间相差随频率的变化。
注:频率响应应当以在规定的被测量频率范围内的频率和某一规定的被测量为基准。
3.1.8动态测量范围dynamicfullscaleoutput
在保证性能指标的前提下,用最大被测量和最小被测量表示的区间。
4概述
线位移传感器可用来测量位移、距离、位置和应变量等长度尺寸,在工程测试中应用广泛。典型的线位移传感器可以分为接触式传感和非接触式传感。线位移传感器输出信号种类多,绝大部分线位移传感器输出电信号,如不同频率的脉冲信号、电压或电流等模拟量;也有些线位移传感器已集成了信号转化功能,能直接以数字方式或其他方式输出长度尺寸。
典型的线位移传感器的结构示意图如下。
图1线位移传感器示意图
1—测杆;2—外壳;3—信号输出线缆
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3
5计量特性
5.1外观及附件
线位移传感器外观结构应完好,附件应齐全,不得有影响计量性能的缺陷。有制造厂商名称、产品型号、出厂编号等标示信息及使用操作说明书。
5.2技术指标
项目
技术指标
频率响应(Hz)
300f
50f≤300
f≤50
动态示值误差(%)
±0.50
±0.20
±0.10
动态重复性(%)
0.20
0.08
0.04
分辨力(%)
0.20
0.08
0.04
响应时间(rad)
0.03
0.02
0.01
注:由于校准工作只给出测量结果,不判断合格与否,上述计量特性仅供参考。
6校准条件
6.1环境条件
1环境温度:22℃±1℃(每小时温度变化量不超过0.5℃)。
2相对湿度:≤65%RH。
3室内周围应无影响测量的灰尘、振动、噪音、气流、腐蚀性气体和较强磁场。
4被校准仪器在室内连续平衡温度的时间应不少于24h,标准器具在室内平衡温度的时间应不少于4h。
5电源电压的波动不应超过额定值的±1%,实验室内应避开强交变电磁场或近距离的交变磁场(如电机、电焊机等)的干扰。
6.2校准用设备(或测量标准及其他设备)
校准过程中所需计量器具(计量基准或计量标准)及配套设备的技术指标要求等。
序号
名称
技术指标
1
直线位移台
(1)位移分辨力Rp,Rp≤0.01μm。
4
(2)运动范围Lp,0.1μm≤Lp≤2000μm。
(3)运动频率fm,fm≥500Hz。
2
激光干涉仪
(1)位移分辨力RL,R
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