硅片制备多晶硅铸锭炉以及单晶炉.pdfVIP

硅片制备多晶硅铸锭炉以及

单晶炉

1.1浇铸法

•浇铸法将熔炼及凝固分开，

熔炼在一个石英砂炉衬的

感应炉中进行，熔融的硅

液浇入一个石墨模型中，

石墨模型置于一个升降台

上，周围用电阻加热，然

后以1mm/min的速度下降。

•特点是熔化和结晶在两个

不同的坩埚中进行，从图

中可以看出，这种生产方

法可以实现半连续化生产，

其熔化、结晶、冷却分别

位于不同的地方，可以有

效提高生产效率，降低能

源消耗。缺点是因为熔融

和结晶使用不同的坩埚，

会导致二次污染，此外因

为有坩埚翻转机构及引锭

机构，使得其结构相对较

复杂。

1.2热交换法及布里曼法

•热交换法及布里曼法都是把熔化及凝固置于同一坩埚中

（避免了二次污染），其中热交换法是将硅料在坩埚中

熔化后，在坩埚底部通冷却水或冷气体，在底部进行热

量交换，形成温度梯度，促使晶体定向生长。

•下图为一个使用热交换法的结晶炉示意图。该炉型采用

顶底加热，在熔化过程中，底部用一个可移动的热开关

绝热，结晶时则将它移开以便将坩埚底部的热量通过冷

却台带走，从而形成温度梯度。

•布里曼法则是在硅料熔化后，将坩埚或加

热元件移动使结晶好的晶体离开加热区，

而液硅仍然处于加热区，这样在结晶过程

中液固界面形成比较稳定的温度梯度，有

利于晶体的生长。其特点是液相温度梯度

dT/dX接近常数，生长速度受工作台下移速

度及冷却水流量控制趋近于常数，生长速

度可以调节。实际生产所用结晶炉大都是

采用热交换与布里曼相结合的技术。

•下图为一个热交换法与布里曼法相结合的结晶炉

示意图。图中，工作台通冷却水，上置一个热开

关，坩埚则位于热开关上。硅料熔融时，热开关

关闭，结晶时打开，将坩埚底部的热量通过工作

台内的冷却水带走，形成温度梯度。

•同时坩埚工作台缓慢下降，使凝固好的硅锭离开

加热区，维持固液界面有一个比较稳定的温度梯

度，在这个过程中，要求工作台下降非常平稳，

以保证获得平面前沿定向凝固。

1.3电磁铸锭法法(EMC或者EMCP法）

•利用电磁感应的冷坩埚来熔化硅原

料。

•这种熔化和凝固技术可以在不同的

部位同时进行，节约时间。而且，

熔体和坩埚不直接接触，既没有

坩埚的消耗，又减少了杂质的污

染，特别是氧浓度和金属杂质大

幅降低，另外，该技术还可以连

续浇铸。不仅如此，由于电磁力

对硅熔体搅拌作用，使得掺杂剂

在硅熔体中的分布能更均匀，是

种很有前途的铸造多晶硅技术。

•但这种技术生长的多晶硅的晶粒比

较细小(约为3—5mm)、大小不均。

且生长时固液界面是严重的凹型，

会引入较多的晶体缺陷。因此，

制备的多晶硅的少数载流子寿命

较低，所制的太阳能电池效率也低。

•HEM/DSS:dominatingprocess,

•PourCasting:

•Bridgeman:

•ElectromagneticCasting:continuousprocess,limitedingotsize,

多晶硅生产过程（LDK)

DSS炉

•系统硬件包括：不锈钢

板，一对侧板，水冷铸

锭炉，供应电源，一个

真空泵系统和一个控制

柜，操作控制盘

•炉腔包括石墨加热区和

隔热层组件。炉腔周围

有架空层（以便操作和

维修同时支撑着变压器）

，公用设施和布设在架

空层地板下面的电线

操作原理

•DSS（定向固化系统）能生产较大尺寸的，优质的多晶硅锭（用于光