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基于ITO替代材料透明电极

制作

ITO的概述

什么是ITO?

ITO膜层的主要成份是氧化铟锡。而ITO

导电玻璃是在纳钙基或硅硼基基片玻璃上，

利用溅射、蒸发等多种方法镀上一层ITO薄

膜加工制作而成。液晶显示器专用ITO导电

玻璃有时还要在中间镀上一层阻挡层，，

以阻止基片玻璃上的钠离子向盒内液晶里

扩散。

ITO导电膜的特性

1.在厚度只有几千埃的情况下，氧化铟透过

率高，氧化锡导电能力强；

2.ITO具有很强的吸水性，所以会吸收空气中

的水份和二氧化碳并产生化学反应而变质，

俗称“霉变”；

3.ITO层在活性正价离子溶液中易产生离子置

换反应，形成其它导电和透过率不佳的反

应物质；

4.ITO在600度以下会随着温度的升高，电阻

增大。

ITO导电玻璃的分类

1.按电阻分：

高电阻玻璃（150~500Ω）——用于静电防护、触摸

屏制作

普通玻璃（60~150Ω）——用于TN类液晶显示器和

和电子抗干扰

低电阻玻璃（小于60Ω）——用于STN液晶显示

和透明线路板

2.按尺寸分:14x14、14x16、20x24等规格

3.按厚度分：2.0mm、1.1mm、0.7mm、

0.55mm、0.4mm、0.3mm等规格

注：0.5mm以下的主要用于STN液晶显示器产品

4.按平整度分：抛光玻璃和普通玻璃

外观质量

不允许有裂纹，TN型ITO导电玻璃镀膜

面不允许有不可去除的高度超过0.1mm的

粘附物；STN型ITO导电玻璃镀膜面不允许

有不可去除的高度超过0.05mm的粘附物。

玻璃体点状缺陷：包括气泡、夹杂物、

表面凹坑、异色点等。点状缺陷的直径定

义为：d=(缺陷长+缺陷宽)/2。

玻璃体线状缺陷(宽度W)：包括玻筋、

光学变形。

使用和贮存

不容许叠放，一般要求竖响放置，平放操

作时，尽量保持ITO面朝下；

取放时只能接触四边，不能接触导电玻

璃ITO表面；

轻拿轻放，不能与其它治具和机器碰撞；

长时间存放要注意防潮，以免影响玻璃

的电阻和透过率；

对于大面积和长条形玻璃，在设计排版

时要考虑玻璃基片的浮法方向。

ITO导电玻璃的贮存方法：

ITO导电玻璃应贮存在室温条件下，湿度在

65%以下干燥保存；贮放时玻璃保持竖向

放置，玻璃间堆放不可超过二层，木箱装

ITO导电玻璃货物堆放不可超过五层。纸箱

装货ITO导电玻璃货物，原则上不能堆放。

制造工艺

l电化学扩散工艺：

在玻璃上用电化学扩散方法可获得掺杂

超导薄膜。玻璃在电化学处理装置中与熔

融金属或化合物接触，在一定的电场作用

下，熔融金属或化合物中的离子会扩散到

玻璃表面，玻璃中的一价碱金属离子离解

处来，等量地扩散至阴极表面，使玻璃表

面的化学组成发生变化。

l高温喷涂和等离子体喷涂工艺：

这种技术是将粉末状金属或非金属、无

机材料加热至熔化或未熔化状态，并进一

步加温使其雾化，形成高温高速焰流喷向

需喷涂的玻璃基体。采用这种方式可以先

在基体上制备YBaGUOx等涂层，在经过热

处理可成为超导性材