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ZJBDT
团体标准
T/ZJBDTXXXX—XXXX
基于CSV格式的测试数据文件规范
SpecificationoftestdatafilebasedonCSVformat
(本草案完成时间:2024年03月15日)
2024-XX-XX发布2024-XX-XX实施
浙江省半导体行业协会 发布
T/ZJBDTXXXX—XXXX
目次
前言II
1范围1
2规范性引用文件1
3术语和定义1
4文件命名规范1
5测试数据规范2
5.1标题2
5.2测试项信息3
5.3测试数据4
参考文献5
I
T/ZJBDTXXXX—XXXX
基于CSV格式的测试数据文件规范
1范围
本文件规定了基于CSV格式的测试数据文件的名称,统一了半导体行业常用的PCM、CP和FT测试结果
的数据格式,使后续的数据分析变得更为科学便捷,同时,也为半导体测试的数据分析、存档、应用以
及商业化交互提供了一种通用标准。
本文件适用于半导体行业内所有涉及测试数据存储和交换的环节,包括但不限于芯片设计、生产制
造、测试验证、设备供应等各个环节。
2规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文件,
仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本
文件。
rfc4180有关CSV格式的定义
STDFV4specification有关测试数据字段的定义
3术语和定义
rfc4180、STDFV4specification界定的以及下列术语和定义适用于本文件。
3.1
PCM测试ProcessControlMonitoring
PCM测试,也叫WAT(WaferAcceptanceTest)测试,是对晶圆划片槽测试键的测试,通过电性参
数来监控各步工艺是否正常和稳定。
3.2
CP测试ChipProbing
CP测试也叫“DieSort”,是对整片晶圆的每个Die的基本参数进行测试,把坏的Die挑出来,用墨
点标记或用Map文件记录,减少封装和测试的成本。
3.3
FT测试FinalTest
FT测试是对封装好的芯片进行应用方面的测试,把坏的芯片挑出来,用于检查封装厂的工艺水平。
3.4
CSV格式Comma-SeparatedValues
CSV格式的文件以纯文本形式存储表格数据(数字和文本)。它由任意数目的记录组成,记录间以
换行符分隔;每条记录由字段组成,字段间以逗号分隔。
4文件命名规范
测试数据文件的命名规则如下:
测试类型_产品名_LOTID_SUBLOTID_WAFERID_CODE_TIMESTAMP.tdas.csv
其中,
测试类型包含:CP、FT、PCM;
产品名为产品的名称或者其英文缩写,可包含大小写英文字母、数字、横杠;
LOTID为晶圆的批次编号;
SUBLOTID为子批次编号,建议采用字母和数字的组合,不包含“.”,“-”,
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