GB∕T 38446-2020 微机电系统（MEMS）技术 带状薄膜抗拉性能的试验方法.pdf

ICS31.200

L55GB

中华人民共和国国家标准

GB/T38446-2020

微机电系统（MEMS）技术

带状薄膜抗拉性能的试验方法

Micro-electromechanicalsystemtechnology一

Testmethodsfortensilepropertymeasurementofstripthinfilms

2020-03-06发布2020-10-01实施

国家市场监督管理总局I.A...,

国家标准化管理委员会＆叩

GB/T38446-2020

目次

前言…………”……I

1范围……………”…·…1

2规范性引用文件…………”…·…1

3术语和定义…………”1

4试验方法……“………………·…2

5数据处理”………”…·…4

附录A（资料性附录）采用MEMS工艺的样品制备…·……”………5

附录B（资料性附录）对准偏差和几何结构对性能测试的影响…”…·…7

附录c（资料性附录〉纳米压痕仪的测试结果误差及补偿………”…·…9

参考文献………·……10

GB/T38446-2020

前言

本标准按照GB/T1.12009给出的规则起草。

本标准由全国微机电技术标准化技术委员会（SAC/TC336）提出并归口。

本标准起草单位＝北京大学、中机生产力促进中心、北京智芯传感科技有限公司、无锡华润上华科技

有限公司、中北大学、北京必创科技股份有限公司。

本标准主要起草人z张威、李海斌、张亚婷、朱悦、夏长奉、石云波、陈得民、马书娜、程红兵、周浩楠。

I

GB/T38446-2020

微机电系统（MEMS）技术

带状薄膜抗拉性能的试验方法

1范围

本标准规定了带状薄膜抗拉性能的试验方法及数据处理，

本标准适用于厚度在50nm到数微米之间且长度和厚度的比值大于300的样品，也可用于MEMS

产品带状薄膜结构的质量监控。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文

件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T26111微机电系统（MEMS）技术术语

3术语和定义

GB/T26111界定的以及下列术语和定义适用于本文件。

3.1

弹性模量modnlnsofel田tici句

E

材料在弹性变形阶段时，应力与应变的比值。

注z改写GB/T3102.31993，定义3.18.1.

3.2

屈服强度yieldstrength

Re

当材料呈现屈服现象时，在试验期间达到塑性变形发生而力不增加的应力点。

注1，改写GB/T228.12010，定义3.10.2.

注2，对于屈服现象明显的材料，屈服强度就是材料发生屈服现象时屈服极限的应力，对于屈服现