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半导体企业电压暂降治理方法的研究

摘要：介绍了电压暂降对半导体企业的影响，分析了电压暂降产生的原因

及危害，提出了几种电压暂降治理的方案。对几种方案进行对比分析，采用生产

设备加装动态电压恢复器，有效防止电压暂降对企业生产的影响，达到治理的要

求。

关键词：电能质量；电压暂降；半导体；动态电压恢复器

Abstract：Thepaperintroducesinfluenceofvoltagesagson

semiconductorcompanies,analyzesthereasonsandharmsofthevoltage

sagsandputsforwardseveralkindsofmeasurestocontrolvoltage

sags.Withcomparativeanalysisonseveralkindsofschemes,the

productionequipmentwithdynamicvoltagerestorer,effectivelyprevent

theinfluenceofthevoltagesagstotheenterpriseproduction,meets

theneedsofmanagement.

Keys:Powerquality;Voltagesag;Semiconductor;Dynamicvoltage

restorer

1.

引言

近年，半导体芯片制造业在国民经济中的作用越来越大，伴随着政府和相关

企业单位在半导体制造业的投资不断增加，相关企业的规模越来越大。

但半导体企业由于其生产加工设备的工艺特殊性以及其设备的昂贵程度，对

用电提出了更高的要求。

半导体行业电能质量问题主要有以下两个方面的影响：

谐波：IC测试台、PLC控制的机械手、芯片制造用的晶圆机、或变频控制的

半导体机台都会产生大量的谐波，它们不但会造成机台设备自身的坏机现象，回

流进电网的谐波电流还会引起其它回路的发热，电子开关误动作、供电电压不稳，

甚至引起生产线停线、半成品的报废。

电压暂降：集成电路芯片制造生产过程中大规模使用电子器件和集成电路，

而且自动化程度比较高。同时由于整个加工工序中设备繁多、工位器具多、工艺

步骤繁多复杂。同时，除供配电系统外，还需传送系统、超纯水系统、真空系统、

洁净空调系统、特殊气体分配系统来保证生产过程的顺利实施以及关键设备的安

全运行。再加之半导体制造设备极为昂贵，不少设备价值高达几百万美元，并且

性能极为精密，对供电电压波动极其敏感，毫秒级的电压波动，足以使得半导体

工厂的工艺设备发生停机从而导致生产中断，造成巨大的直接和间接经济损失。

且芯片生产制造工艺步骤繁多，常规的动态存储内存加工工艺需要200道以上工

序，其中任何一步工艺出错都会直接或间接影响产品的合格率，让半导体生产厂

承受巨大的损失。

谐波治理办法随着近十几年的发展，国产有源滤波器已经能够很好的进行谐

波滤除，使得P.C.C点的谐波满足GB/T14549-93《电能质量公共电网谐波》

的要求。

但电压暂降问题一直影响着半导体行业生产的安全可靠性，故针对半导体行

业的电压暂降问题，国内外的电气企业先后给出了包括加装飞轮、使用双变换在

线式UPS、加装抗晃电模块、DC-BANK直流支撑及加装DVR等解决办法，并在各

种特定场景中取得了一定的成果，但何种方式是彻底解决电压暂降的最佳方案没

有达成一致。

因此，本文结合半导体行业的电压暂降问题以及常用的解决办法进行对比分

析，给出建议。首先，对电压暂降的产生原因进行分析；其次，对各种电压暂降

治理办法进行分析对比，得出各种治理办法的优劣势；再次，对加装治理设备需

要注意的事项提出一些建议。

1.

电压暂降及其产生的原因介绍

2.1电压暂降介绍

电压暂降是指供电电压有效值RMS在短时间内突然大幅下降又恢复正常的现

象。电压暂降在国内也称为电压骤降、电压跌落、电压瞬间波动、电压凹陷等，

或俗称晃电。

国际电工委员会（IEC）将其定义为下降到额定值的90%至1%，持续时间为

10ms-1min。

国际电气与电子工程师协会（IEEE）将其定义为下降到额定值的90%至10%，

其典型持续时间为10m