原创力文档- 1、本文档共23页，可阅读全部内容。
- 2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
BIGDATAEMPOWERS
TOCREATEANEW
ERA
《溅射镀膜类型》ppt课件
目录
CONTENTS
•溅射镀膜简介
•溅射镀膜的类型
•各种类型溅射镀膜的特点和比
•溅射镀膜的未来发展
BIGDATAEMPOWERS
TOCREATEANEW
ERA
01
溅射镀膜简介
溅射镀膜的定义
溅射镀膜是一种物理气相沉积技术，利用高能粒子撞击靶材表面，使靶材
原子或分子从表面逸出的过程。
该技术通过在真空环境下，利用等离子体中的离子或中性粒子轰击靶材表
面，使靶材原子或分子从表面逸出的过程。
溅射镀膜技术具有沉积速率高、成膜质量好、可大面积制备薄膜等优点。
溅射镀膜的原理
溅射镀膜的原理基于气体辉光放电现象，通过
在真空环境下引入气体，利用高压电场激发气
体产生辉光放电，从而产生等离子体。
等离子体中的离子或中性粒子在电场的作用下
加速轰击靶材表面，使靶材原子或分子从表面
逸出并沉积在基片表面形成薄膜。
溅射镀膜的原理可以通过溅射速率、基片温度、
气体压强等参数进行调节和控制。
溅射镀膜的应用领域
溅射镀膜技术广泛应用于光学、电子、
机械、航空航天等领域。
在航空航天领域，溅射镀膜可用于制造在光学领域，溅射镀膜可用于制造各种
各种高性能材料和结构件，如高温防护光学元件，如反射镜、滤光片、增透膜等。
涂层、卫星太阳能电池板等。
在机械领域，溅射镀膜可用于提高材料在电子领域，溅射镀膜可用于制造各种
的耐磨性、耐腐蚀性和硬度等性能。电子元件，如薄膜电阻、电容、电感等。
文档评论（0）