3光电检测(第十章、第十一章).ppt

*************（c）电阻链细分法（电阻分割法）等电阻链细分电路实质：用电阻衰减器来进行细分。Endthe3.5*******************************（e）光纤电流传感器接收光源12图热双金属式光纤温度开关1遮光板；2双金属片（f）光纤温度传感器Endthe3.43.5光栅传感器3.5.1光栅传感器的结构3.5.2莫尔条纹形成的原理3.5.3莫尔条纹技术的特点3.5.4光栅的光路3.5.5辨向原理3.5.6细分技术什么是光栅在玻璃尺（或金属尺）或玻璃盘上进行长刻线的密集刻划，得到间隔很小的黑白相间的条纹，没有刻划的地方透光（或反光），刻划的发黑处不透光（或不反光），这就是光栅，其中刻线称为栅线。a—栅线的宽度b—缝隙的宽度W—光栅的栅距3.5光栅传感器3.5.1光栅传感器的结构3.5.2莫尔条纹形成的原理3.5.3莫尔条纹技术的特点3.5.4光栅的光路3.5.5辨向原理3.5.6细分技术莫尔条纹形成原理横向莫尔条纹的斜率莫尔条纹间距莫尔条纹的宽度BH由光栅常数与光栅夹角决定3.5光栅传感器3.5.1光栅传感器的结构3.5.2莫尔条纹形成的原理3.5.3莫尔条纹技术的特点3.5.4光栅的光路3.5.5辨向原理3.5.6细分技术莫尔条纹技术的特点调整夹角即可得到很大的莫尔条纹的宽度，起到了放大作用，又提高了测量精度。例：当时得1)莫尔条纹的移动量、移动方向与光栅的移动量、移动方向具有对应关系。2)光电元件对于光栅刻线的误差起到了平均作用。刻线的局部误差和周期误差对于精度没有直接的影响。例如：设，接收元件为10x10mm的硅光电池，则在接收范围内将有500条栅线，由此，使得任意栅线的栅距误差或瑕疵，对整个莫尔条纹的位置和形状影响很小。莫尔条纹技术的特点光栅传感器的结构光栅传感器由光源、透镜、光栅副（主光栅和指示光栅）和光电接收元件组成。光栅传感器光源：钨丝灯泡： 输出功率较大，工作范围较宽（-40℃到+130℃） 与光电元件相组合的转换效率低。在机械振动和冲击条件下工作时，使用寿命将降低。半导体发光器件: 转换效率高，响应特征快速。 如砷化镓发光二极管，与硅光敏三极管相结合，转换效率最高可达30%左右。砷化镓发光二极管的脉冲响应速度约为几十ns，可以使光源工作在触发状态，从而减小功耗和热耗散。光栅副：指示光栅＋主光栅光电元件包括有光电池和光敏三极管等部分。在采用固态光源时，需要选用敏感波长与光源相接近的光敏元件，以获得高的转换效率。 在光敏元件的输出端，常接有放大器，通过放大器得到足够的信号输出以防干扰的影响。光栅读数头结构示意图x123451—光源；2—透镜；3—标尺光栅；4—指示光栅；5—光电元件整体结构分析前面分析的莫尔条纹是一个明暗相间的带，两条暗带中心线之间的光强变化是从最暗到渐暗，到渐亮，一直到最亮，又从最亮经渐亮到渐暗，再到最暗的渐变过程。主光栅移动一个栅距W，光强变化一个周期，若用光电元件接收莫尔条纹移动时光强的变化，则将光信号转换为电信号，接近于正弦周期函数(如下图所示)，如以电压输出，即整体结构分析整体结构分析由上式可见，输出电压反映了位移量的大小。式中：uo—光电元件输出的电压信号；Uo—输出信号中的平均直流分量；Um—输出信号中正弦交流分量的幅值。整体结构分析光栅位移与光强、输出电压的关系3.5光栅传感器3.5.1光栅传感器的结构3.5.2莫尔条纹形成的原理3.5.3莫尔条纹技术的特点3.5.4光栅的光路3.5.5辨向原理3.5.6细分技术光栅的光路透射光路反射光路（1）透射式光路1-光源2-准直透镜3-主光栅4-指示光栅5-光电元件?此光路适合于粗栅距的黑白透射光栅。特点：结构简单，位置紧凑，调整使用方便，应用广泛。（2）反射式光路1反射主光栅2-指示光栅3-场镜4-反射镜5-聚光镜6-光源7-物镜8-光电电池。该光路适用于黑白反射光栅。3.5光栅传感器3.5.1光栅传感器的结构3.5.2莫尔条纹形成的原理3.5.3莫尔条纹技