超精密加工技术.pdfVIP

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1当前精细和超精细加工精度从微米到亚微米，乃至纳米，在汽车、家电、IT电子信息高技术领

域和军用、民用工业有广泛应用。同时，精细和超精细加工技术的开展也促进了机械、模具、

液压、电子、半导体、光学、传感器和测量技术及金属加工工业的开展。精细及超精细加工-

概念与畴精细加工通常，按加工精度划分，机械加工可分为一般加工、精细加工、超精细加工

三个阶段。目前，精细加工是指加工精度为1~0.1µm，外表粗糙度为Ra0.1~0.01µm的加工技术，

但这个界限是随着加工技术的进步不断变化的，今天的精细加工可能就是明天的一般加工。精

细加工所要解决的问题，一是加工精度，包括形位公差、尺寸精度及外表状况；二是加工效率，

有些加工可以取得较好的加工精度，却难以取得高的加工效率。

精细及超精细加工-分类1、传统的精细加工方法有砂带磨削、精细切削、珩磨、精细研磨与抛

光等。a.砂带磨削是用粘有磨料的混纺布为磨具对工件进展加工，属于涂附磨具磨削加工的畴，

有生产率高、外表质量好、使用围广等特点。b.精细切削，也称金刚石刀具切削(SPDT)，用高

精细的机床和单晶金刚石刀具进展切削加工，主要用于铜、铝等不宜磨削加工的软金属的精细

加工，如计算机用的磁鼓、磁盘及大功率激光用的金属反光