气体分析 纯度分析及纯度数据的处理-最新国标.pdfVIP

气体分析 纯度分析及纯度数据的处理-最新国标.pdf

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气体分析纯度分析及纯度数据的处理

1范围

本文件规定了制备校准混合气体所用原料的纯度分析要求,以及纯度数据在所制备的混合气体组成

计算中的应用。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文件,

仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本

文件。

ISO/IECGuide98-3测量不确定度第3部分:测量不确定度表示指南(GUM-1995)[Uncertaintyof

measurement—Part3:Guidetotheexpressionofuncertaintyinmeasurement(GUM:1995)]

注:GB/T27418—2017测量不确定度评定和表示(ISO/IECGuide98-3:2008,MOD)

ISO6141气体分析校准用混合气体证书内容(Gasanalysis—Contentsofcertificatesforcalibration

gasmixtures)

注:GB/T35860-2018气体分析校准用混合气体证书内容(ISO6141:2015,IDT)

ISO6143气体分析测定和检验校准气体混合物成分用比较法(Gasanalysis—Comparisonmethods

fordeterminingandcheckingthecompositionofcalibrationgasmixtures)

注:GB/T10628—2008气体分析校准混合气体组成的测定和校验比较法(ISO6143:2001,IDT)

ISO7504气体分析词汇(Gasanalysis—Vocabulary)

注:GB/T14850—2020气体分析词汇(ISO7504:2015,IDT)

ISO12963气体分析基于单点和两点校准测定混合气体的组成的比较法(Gas

analysis—Comparisonmethodsforthedeterminationofthecompositionofgasmixturesbasedonone-and

two-pointcalibration)

注:GB/TXXXXX—XXXX气体分析混合气体组成数据的换算(ISO12963:2017,IDT)

ISO14912气体分析混合气体组成数据的换算(Gasanalysis—Conversionofgasmixture

compositiondata)

注:GB/T40870—2021气体分析混合气体组成数据的换算(ISO14912:2003,IDT)

3术语和定义

ISO7504界定的术语和定义适用于本文件。

4符号

下列符号适用于本文件:

i混合气体的组分

j原料气

k混合气体中的特定组分

L原料气j中组分i的检出限

ij

u(括号中量的)标准不确定度

w原料气j中组分i的质量分数

ij

xij原料气j中组分i的物质的量分数

φ原料气j中组分i的体积分数

ij

5原理

5.1概述

混合气体制备过程中所用的所有原料(气体或液体)中杂质的测定,对组分浓度的不确定度均有一

定影响。

能通过不同的方式评估并列出原料中可能存在的所有杂质,包括:

——公开的文献资料;

——原料附带的信息;

——以往使用相同或相似原料的经验;

——通过对原料生产过程的了解,判断可能引入的杂质。

应指出对成品混合气体而言,原料中可能存在的杂质哪些是“关键”杂质,哪些是“重要”杂质,

以确定需要进行分析的类型。

5.2关键杂质和重要杂质的评估

5.2.1关键杂质

满足以下一种或多种条件的杂质称为关键杂质:

——存在于两组分或多组分混合气体所用气体原料或液体原料中的杂质,同时也是该混合气体中的

一种微量组分;

示例1:如果制备低含量的氮中氧混合气体,氮气中也可能存在氧

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