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材料扭转性能测试仪设计

摘要

随着科学技术的发展，微机电系统在军事、航空航天、汽车等各种领域的应用越来越广泛，同时随着对微机电系统使用要求的提高，使用环境的复杂化与恶劣化，随之而来的材料失效问题愈发严重。材料在宏观上的失效行为实质上对应于微观结构的变形，然而传统的材料力学性能测试方法仅能从宏观上解释材料的失效机制，无法揭示材料失效时微观结构变形的实质。鉴于这种情况，本文设计了一台基于扭秤原理的微纳尺度材料扭转力学性能测试设备。为了完成对微结构材料的扭转测试，该装置必须能够确保两个主要的功能，即施加纯扭力（执行器部分）并测量所产生的旋转和扭矩（传感器部分）。

本文对材料