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2022年半导体设备行业研究：短期阵痛换

千秋功业，制造设备迈向国产替代新征程

企业标签：北方华创、中微公司、拓荆科技、至纯科技、芯源微、

盛美半导体、宇晶股份

行研赋能产业创新发展

2022SemiconductorEquipmentIndustryResearch

2022年半導体製造装置産業調査

研究报告|2022/09

研究报告|2022/02碳中和系列

研究目的

本报告为半导体系列篇，将对半导体制造设备的类别、细分赛道市场格局，国产替代现状，国内外制造设备技

术对比，制造工序、价值分布、国内外厂商进行梳理，以及对中国未来三年国产制造设备需求做出分析。

此研究将会回答的关键问题：

研究区域范围：中国

①半导体行业特性

研究周期：2022年

②国内外半导体制造设备技术对比

研究对象：中国半导体制造设备厂商

③国产替代进程

01美国恶意竞争剑指中国半导体产业，制造设备国产替代进程加速

美国商务部9月6日发布《2022芯片和科技法案》，该法案旨在切断向中国供应半导体芯片先进制程的

技术和设备及材料，通过补贴加速芯片产业回流美国，隔断中国芯片产业与全球联系，重塑全球芯片产

业链供应链格局。短期来看，该“芯片法案”涉及到先进制造工艺的高端代工、存储器以及下游产业如消

费电子、汽车等，对中国的影响较大。从长期来看，进行半导体关键材料的国产替代已是国内半导体产

业的共识，该法案的重重限制只会加速中国半导体产业国产替代的进程。当前半导体晶圆材料的整体国

产化率仍较低，国产替代任务艰巨，但前景空间广阔，国内头部企业或将迎来发展的黄金机遇。

02去胶设备国产替代率最高，光刻、离子注入仍为国产痛点

干法刻蚀、CMP、去胶设备等均已实现较高比例国产设备采用率，且在2020-2021年维持较高水平，清

洗、去胶、涂胶显影等设备2021年国产设备采用率均有提高，其中去胶设备国产采用率达85%。从设备

类型来看我国在去胶、清洗、热处理、刻蚀及CMP领域内国产替代率较高，均高于20%，但在价值量较

高领域内国产化率较低，如光刻、离子注入、涂胶显影等领域国产化率合计不足5%。

032022年制造设备销售规模有望突破千亿美元大关，未来3年中国国产制造

设备需求量接近3万台

根据SEMI数据，全球半导体制造设备总销售额预计将于2022年达1175亿美元，同比增长14.7%，并在

2023年增至1208亿美元。其中晶圆厂设备部分，包括晶圆加工、晶圆厂设施和掩模/掩模版设备，预计

到2022年将增长15.4%，达到1010亿美元，随后在2023年增长3.2%，达到1043亿美元。据预测，未来3年

中国国产半导体制造设备需求量近3万台，国内北方华创、中微半导体、沈阳拓荆、精测电子、盛美半

导体、至纯科技等设备龙头春天将近。

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研究报告|2022/09半导体系列

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