GB/T 43916-2024真空技术　真空计　电容薄膜真空计的规范、校准和测量不确定度.pdf

ICS23.160

CCSJ78

中华人民共和国国家标准

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GBT439162024ISO201462019

真空技术真空计电容薄膜真空计的

、

规范校准和测量不确定度

——,

VacuumtechnoloVacuumauesSecificationscalibrationand

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(:,)

ISO201462019IDT

2024-04-25发布2024-04-25实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

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GBT439162024ISO201462019

目次

前言…………………………Ⅲ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

3.1组成…………………2

3.2物理参数……………2

3.3其他参数……………3

4缩略语……………………5

5电容薄膜真空计…………………………5

5.1原理…………………5

6电容薄膜真空计规范……………………6

6.1电容薄膜真空计类型………………6

6.2规管温度控制………………………6

6.3信号输出单元的显示和测量………………………6

6.4电容薄膜真空计的测量范围………………………6

6.5目标测量不确定度…………………6

6.6零点和全量程的温度系数…………7

6.7分辨力………………7

6.8规管响应时间………