141A0 聚焦离子束扫描电镜作业指导书.docx

聚焦离子束扫描电镜作业指导书

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**WI-QA-141

A0

李颖

赵远辉

于国华

2017-3-6

PAGE9/9

是否

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目的

规范聚焦离子束扫描电镜（FIB-SEM）的操作。

范围

适用于聚焦离子束扫描电子显微镜的操作。

职责

所有FIB-SEM使用人员均须严格按照本规范操作。

定义

无

5、作业内容：

操作步骤说明

图片

注意事项

5.1SEM形貌观察

5.1.1检查扫描电镜运行状况是否正常

1.循环水泵的温度应在20±1℃；

2.样品室真空5×10-3Pa；

3.电流：100μA左右。

5.1.2样品仓放气

1.激活并观察CCD视窗中样品台的实时位置（如该视窗未激活，左上角会有“”图标）；

2.先打开高纯氮气阀门，点击“Vent”，放气，放气结束后，右下角真空状态指示图标由“橙色”变为“灰色”（约3min）。

5.1.3样品制备

1.剪切样品，小于1×1cm；

2.导电性好的样品，用导电碳胶带将样品贴于样品台即可；

3.导电性差的样品，导电胶带要略大于样品，将样品黏贴好后用胶带边缘多余部分包裹住样品表面，再将样品喷金(操作参考溅射仪SOP)；

注：（1）斜样品台不得使用EDS功能；

（2）为了增强样品的导电性能，最好所有样品都喷金。

5.1.4放入样品

1.放气结束后，往外拉样品室的门框，慢慢拉开真空腔室门；

2.室门开启后，用镊子将样品插入样品台孔中。

5.1.5关闭真空腔室门并抽真空

1.样品放置完毕后，慢慢推动，关闭真空腔室门，同时观察CCD窗口，防止样品过高撞到极靴；

2.关闭真空腔室门后，点击“Pump”，同时单手推紧腔门，待腔门吸紧后（约20s）可松开手，装样结束；

3.抽真空后，真空状态指示图标

由灰色变为橙色，等待样品室真空值5×10-3Pa。

5.1.6加高压

点击“BeamOn”

1.ChamberPressure5x10-3Pa后，选中第一象限的电子枪画面，点击“BeamOn”加高压，让电子束到达样品表面。

5.1.7调整Z轴位置

1.在低位置低倍率下聚焦清楚后（WD值在60mm左右），点击“”图标，让Z轴的位置link上，图标变成“”，WD值和Z轴位置会保持一致，调整Z轴位置，输入“30mm”将样品台升至30mm处，图标此时会显示“”，重新聚焦，重新“link”上，变成“”

5.1.8调出实时导航画面

1.Z轴位置在30mm处，link上的状态下，执行命令“Ctrl+Shift+Z”

，样品台会自动上升到7mm处拍照，然后自动回到执行命令前的位置，程序运行完毕后，第3象限的画面会更新到实时导航画面，即可在样品台上定位每个样品的具体位置。

注：（1）导航画面会保持上一次的状态，只有通过执行以上命令后才能调出实时导航画面；（2）执行该命令时，状态条未完成前切不可点击任何功能，否则可能会导致所有画面卡住。

5.1.9选择合适探头、模式和参数

1.一般情况下选择“ETD”探头（二次电子+背散射电子探头），根据具体情况选择合适的探头：T1-背散射电子探头，T2-二次电子探头；

2.选择“standard”模式；

3.选择合适的加速电压和束斑，电压一般选择“5KV”，束斑选择“8”左右；

4.选择合适的放大倍数。

5.1.10聚焦

1.将Z轴调整至合适的位置；

2.聚焦:F7打开聚焦小窗口，按住鼠标右键（F11），左右移动，调节焦距，使成像最清晰；

3.由低倍向高倍不断聚焦，若图像一直模糊聚焦不了，则说明需要调节像散或者振动。

5.1.11调整亮度、对比度

1.在聚焦时调节对比度和亮度，以获得较佳的视觉效果，也可以点击自动调节亮度和对比度（F9）。

5.1.12消像散

有像散无像散

1.放大倍数超过5000X时，一般会有像散，若聚焦时图像变形则说明有象散，需消除像散，此时按住Shift+鼠标右键（或Shift+F11自动消除像散），左右移动鼠标，使图片不变形、清晰为止；

5.1.13消振动

1.若聚焦时，图片在漂移，则说明有振动影响，此时，先选择“F7”选择小窗口，点击消振动图标，画面开始晃动，通过上下左右移动该光标，使图像只是原位振动，而非上下/左右晃动。

5.1.14拍照

1.图像调节清晰后，按F2快捷键进行拍照，拍照结束后弹出保存窗口，设置保存路径和文件名将拍摄图片保存。

5.2离