JJF(蒙) 050-2023 真空测量系统在线校准规范.docxVIP

内蒙古自治区地方计量技术规范JJF（蒙）050—2023

真空测量系统在线校准规范

CalibrationSpecificationforOn-Line

VacuumMeasurementSystem

2023-12-01发布

2024-03-01实施

内蒙古自治区市场监督管理局发布

JJF（蒙）050-2023

真空测量系统在线校准规范CalibrationSpecificationforOn-Line

VacuumMeasurementSystem

JJF(蒙)050—2023

归口单位：内蒙古自治区市场监督管理局

主要起草单位：包头市检验检测中心

参加起草单位：包头天和磁材科技股份有限公司

本规范技术条文由起草单位负责解释

JJF（蒙）050-2023

本规范主要起草人：

何宇（包头市检验检测中心）

王石塄（包头市检验检测中心）

郝大昭（包头市检验检测中心）

冯向辉（包头市检验检测中心）

参加起草人：

魏星（包头市检验检测中心）

马建国（包头市检验检测中心）

董义（包头天和磁材科技股份有限公司）

I

目录

引言 II

1范围 1

2引用文件 1

3术语和计量单位 1

4概述 2

5计量特性 2

6校准条件 2

7校准项目和校准方法 3

8校准结果表达 4

9复校时间间隔 5

附录A真空测量系统校准原始记录参考格式 6

附录B校准证书内容及内页参考格式 7

附录C真空测量系统示值相对误差测量结果不确定度评定示例 8

JJF（蒙）050-2023

II

引言

JJF1071《国家计量校准规范编写规则》、JJF1001《通用计量术语及定义》、

JJF1059.1《测量不确定度评定与表示》为基础性系列规范进行编写。

本规范为首次发布。

JJF（蒙）050-2023

1

真空测量系统在线校准规范

1范围

本规范适用于测量范围从大气压到1×10-8Pa的真空测量系统在线校准，其他

真空测量系统可参照本规范进行校准。

2引用文件

本规范引用了下列文件：

JJF1050工作用热传导真空计校准规范

JJF1062电离真空计校准规范

GB/T3163真空技术术语

GB/T3164-2007真空技术图形符号

GB/T30434电阻真空计通用技术条件

GB/T34873-2017/ISO3567：2011真空计与标准真空计直接比较校准

凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本规范；凡是不注日期的引

用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本规范。

3术语和计量单位

3.1术语

3.1.1真空计vacuumgauge

测量低于大气压力的气体或蒸气压力的一种仪器

注：通常使用的某些真空计实际上不测量压力（术语中它是以作用在表面上的力来表达

的）而是测量在规定条件下与压力有关的某些其他物理量。

[来源：GB/T3163-2007，4.1.2]

3.1.2标准真空计referencegauges

校准真空计时，用来做量值传递或量值参照的真空计。

[来源：GB/T3163-2007，4.6.1]

3.1.3校准系统systemofcalibration

校准真空计所用的真空系统。

[来源：GB/T3163-2007，4.6.2]

3.1.4真空系统vacuumsystem

由真空容器和产生真空、测试真空、控制真空等元件组成的真空装置。

2

[来源：GB/T3163-2007，5.1.1]

3.2计量单位

真空测量系统所测量的压力使用的计量单位为帕斯卡（Pa）。

4概述

真空测量系统常见于冶金、稀土原料生产等行业的真空烧结炉，通常由电阻规管、电离规管及配套的真空计指示单元组成，其中真空烧结炉配套一到多台不同效率的真空泵提供及保持炉内真空条件，真空测量系统测量显示炉内真空压力

（示例见图1）。

图1真空测量系统组成示意图

5计量特性

表1压力示值相对误差(δ):

序号

测量范围

最大允许误差

1

环境大气压～1×10-1Pa

±50%

2

1×10-1Pa～1×10-8Pa

±20%

注：以上指标不做合格性判定，仅供参考。

6校准条件

6.1环境条件

温度：15℃~35℃

湿度：≤85%RH

6.2测量标准及其他设备

JJF（蒙）050-2023

3

表2测量标准及其他设备

序号

装置名称

技术要求

1

标准真空计

标准真空计推荐为：磁悬浮转子真空计、电离真空计、

电容薄膜真空计；

测量范围