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本申请提供一种进气喷嘴装置以及等离子体刻蚀机,所述进气喷嘴装置包括中心进气喷嘴、边缘进气喷嘴、中心进气管路以及边缘进气管路,所述中心进气喷嘴具有中心进气流道和与所述中心进气流道连通的中心喷孔,所述中心喷孔贯通所述中心进气喷嘴的底部,所述边缘进气喷嘴具有边缘进气流道和与所述边缘进气流道连通的边缘喷孔,所述边缘喷孔贯通所述边缘进气喷嘴的侧部;且,所述边缘进气喷嘴具有轴向通道,所述中心进气喷嘴安装于所述轴向通道中,且能够相对所述边缘进气喷嘴沿轴向移动。中心进气喷嘴可以轴向移动,可以针对不同材料的衬底片
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN118057573A
(43)申请公布日2024.05.21
(21)申请号202211446629.X
(22)申请日2022.11.18
(71)申请人江苏鲁汶仪器股份有限公司
地址2
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