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抛光钻孔千回检,先进工艺技术带来CMP抛光材料新增长空间
➢2021年全球抛光液规模约18.9亿美元,抛光垫约为11.3亿美元,抛光液与抛光垫占据半导
体抛光材料的80%以上,长期需求规模将继续增长。CMP既是(ChemicalMechanical
Polishing)化学机械抛光是集成电路制造过程中实现晶圆表面平坦化的关键工艺。CMP工
作原理是在一定压力下及抛光液的存在下,被抛光的晶圆对抛光垫做相对运动,借助纳米
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